半自動內外層DI
| 序號 | 系列 | 標準系列 |
| 設備型號 | KST-DI2432-6XLB | |
| 1 | 生產尺寸 | 12"×12" (Min) 24.5"×32.5" (Max) |
| 2 | 基材厚度 | 0.08 - 4.0 mm |
| 3 | 線寬解析精度 | 40μm/40μm |
| 4 | 景深 | ±300μm |
| 5 | 對位精度 | ±8μm |
| 6 | 內層層間對準精度 | 24μm |
| 7 | 制板速度 | 24.5 "×32.5 " 20mj : 8.0–9.0 PNL/min |
| 8 | 感光材料 | 干膜、DI專用油墨 |
| 9 | DI鏡頭個數 | 6 |
| 10 | 均勻性 | ≥90% |
| 11 | 光源波長 | 405nm |
| 12 | 光源輸出功率 | 65W/頭 |
| 13 | 曝光方式 | 單面曝光 |
| 14 | 資料輸入 | Gerber274X、Gerber274D、ODB+ + |
| 15 | 圖形脹縮管理 | 固定脹縮；自動脹縮；分區脹縮；測量脹縮 |
| 16 | 掃碼MARK功能 | 打印日期；時間；序號；脹縮系數等 |
| 17 | 靶標對位 | 正面對位 |
| 18 | 多區域曝光 | 支持 |
| 19 | 工作高度 | 800±50mm |
| 20 | 環境需求 | 溫度：22±2°C 濕度：55%±5% 萬級無塵室 |
| 21 | 電源需求 | 三相五線；380VAC/50Hz/ 20 KVA |
| 22 | 氣壓源需求 | 6-7Kg/cm²，流量500L/min |
| 23 | 冰水需求 | 7-12℃，流量70L/min，壓力2-3Kg/cm² ×2 |
| 24 | 設備尺寸 | 2980mm (L)×1760mm (W)×2050mm (H) |
| 25 | 設備重量 | 總重約 4500Kg |
