全自動內外層DI
序號 | 系列 | 標準系列 | 超大系列 |
設備型號 | KST-DI2432A-12XLB | KST-DI2449A-12XLB | |
1 | 生產尺寸 | 12"×12" (Min) 24.5"×32.5" (Max) | 12"×12" (Min) 24.5"×49.5" (Max) |
2 | 基材厚度 | 0.08 - 4.0 mm | |
3 | 線寬解析精度 | 40μm/40μm | 50μm/50μm |
4 | 景深 | ±300μm | |
5 | 對位精度 | ±8μm | ±12μm |
6 | 內層層間對準精度 | 24μm | |
7 | 制板速度 | 24.5 "×32.5 "20mj : 8.0–9.0 PNL/min | 24.5 "×49.5 "20mj : 6.5–7.5 PNL/min |
8 | 感光材料 | 干膜、DI專用油墨 | |
9 | DI鏡頭個數 | 6×2 | |
10 | 均勻性 | ≥90% | |
11 | 光源波長 | 405nm | |
12 | 光源輸出功率 | 65W/頭 | |
13 | 曝光方式 | 單面曝光 | |
14 | 資料輸入 | Gerber274X、Gerber274D、ODB+ + | |
15 | 圖形脹縮管理 | 固定脹縮;自動脹縮;分區脹縮;測量脹縮 | |
16 | 掃碼MARK功能 | 打印日期;時間;序號;脹縮系數等 | |
17 | 靶標對位 | 正面對位 | |
18 | 多區域曝光 | 支持 | |
19 | 工作高度 | 1040±50mm | |
20 | 環境需求 | 溫度:22±2°C 濕度:55%±5% 萬級無塵室 | |
21 | 電源需求 | 三相五線;380VAC/50Hz/ 25 KVA×2 | 三相五線;380VAC/50Hz/ 30 KVA×2 |
22 | 氣壓源需求 | 6-7Kg/cm²,流量1000L/min×2 | 6-7Kg/cm²,流量 1500L/min×2 |
23 | 冰水需求 | 7-12℃,流量70L/min,壓力2-3Kg/cm² ×2 | |
24 | 設備尺寸 | 6400mm(L)×2930mm(W)×2050mm(H) | 6400mm(L)×3500mm(W)×2050mm(H) |
25 | 設備重量 | 總重約12300Kg (單機重4400Kg×2, 輸送線+翻轉機約重3500Kg ) | 總重約14800Kg (單機重5400Kg×2, 輸送線+翻轉機約重4000Kg ) |